반도체 Pellicle 막 제조 공정 중 Dispensing, Concrescence, Peeling, Inspection 공정 설비

6축 다관절, 초정밀 항온항습기, Chiller, Dispenser, EFEM, Vision Inspection 적용

Cleanliness : < 0.5 Class

기존 작업자가 직접 액화질소 및 액체를 핸들링하며 운영된 공정을 Full 자동화로 구현한 설비

WTR, Chamber, Vortex Module 적용

Freeze & Thaw & Vortex System의 소형화 버전 설비

Display Zero Bezel 구현을 위한 Cell 측면 Patterning 설비

OLED 18.2”, 55”, 65” 사이즈 대응

Tact Time : < 800 Sec.